JED-2300/2300F系列掃描電鏡能譜儀，可進(jìn)行非導(dǎo)電元素微區(qū)分析。使用JEOL*的軟件“ Analysis Station”，通過與SEM的馬達(dá)驅(qū)動樣品臺聯(lián)動使用，可以進(jìn)行大范圍的觀察和分析，可實現(xiàn)分析結(jié)果和分析位置自動對應(yīng)。掃描電鏡能譜儀通過檢測被電子束激發(fā)出的樣品的特征X射線，確定樣品含有的元素及成分比，可以進(jìn)行微區(qū)的點分析、線分析及面分析。

• 適用JSM-IT200/IT500 等

• 可以在SEM圖像上分析位置，開始EDS分析。

• VID

         將采集的X射線譜圖和Visual PeakID（VID）合成的譜圖進(jìn)行比較，定性結(jié)果可以通過視覺、 數(shù)值判斷。

• Play Back (回放) 功能
  用JEOL制造的EDS采集的元素面分布圖，不僅保存了每一幀中各個像素點的譜圖，還對每一幀中電子束形成的圖像進(jìn)行了存儲。利用Play back功能，可以進(jìn)行多角度的分析如觀測譜圖等隨時間的變化等。測試后數(shù)據(jù)能夠回放，可以觀察到樣品按時間順序發(fā)生的變化，這是至今為止無法實現(xiàn)的。此外，利用Play Back功能還可以截取任意的畫面。

• Smile Station™ 2

• Smile Station™2功能通過在多個視野上自動進(jìn)行分析，生成SEM和元素面分布圖的無縫蒙太奇圖像，也可以在取得的視野上進(jìn)行連續(xù)的元素面分布和點分析等。

• Dry SD 檢測器

• Dry SD 檢測器（SDD檢測器）與傳統(tǒng)的EDS檢測器不同，不需要液氮制冷。使用快速簡單，同時實現(xiàn)了高分辨率和高計數(shù)率處理。