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臺(tái)式掃描電鏡的測(cè)量過(guò)程分為掃描和探測(cè)兩個(gè)步驟

更新時(shí)間:2023-12-05      點(diǎn)擊次數(shù):430
  臺(tái)式掃描電鏡的測(cè)量過(guò)程分為兩個(gè)基本步驟:掃描和探測(cè)。在掃描過(guò)程中,電子束按照一定的模式在樣品表面上進(jìn)行掃描,掃描線圈在水平和垂直方向上控制電子束的位置。在探測(cè)過(guò)程中,樣品表面與電子束相互作用,產(chǎn)生多種種類(lèi)的信號(hào)。常見(jiàn)的信號(hào)包括:次級(jí)電子(Secondary Electrons,SE)、散射電子(Back scattered Electrons,BSE)、熒光X射線(X-Ray Fluorescence,XRF)和樣品電流等。
 
  次級(jí)電子是由電子束與樣品表面原子的相互作用所產(chǎn)生的。這些電子在樣品表面附近發(fā)生幾次散射后,離開(kāi)樣品,并被探測(cè)器所探測(cè)到。次級(jí)電子的信號(hào)可以用于獲得樣品的表面形貌信息,因?yàn)榇渭?jí)電子的發(fā)射與樣品表面的幾何形貌有關(guān)。
 
  散射電子是由電子束與樣品表面原子的相互作用所產(chǎn)生的。這些電子經(jīng)過(guò)一定的散射過(guò)程后,返回到探測(cè)器,并形成散射電子圖像。散射電子的信號(hào)可以用于獲得樣品的組成信息,因?yàn)樯⑸潆娮邮艿綐悠吩拥暮穗姾珊驮有驍?shù)的影響,從而可以得到元素的分布情況。
 
  熒光X射線是由電子束與樣品原子間的相互作用所產(chǎn)生的。當(dāng)電子束與樣品原子相互作用時(shí),被激發(fā)的內(nèi)層電子會(huì)躍遷至低能級(jí),釋放出X射線。這些X射線可以用于獲得樣品的元素組成信息和分布情況。
 
  樣品電流是由電子束與樣品之間的相互作用所產(chǎn)生的。電子束在樣品表面上產(chǎn)生電子影響時(shí),會(huì)引起電子的發(fā)射,從而產(chǎn)生一個(gè)電流。這個(gè)電流可以用于獲得樣品的導(dǎo)電性和電子能量分布等信息。
 
  臺(tái)式掃描電鏡常用于以下領(lǐng)域:
 
  1.觀察和分析各種材料的微觀形貌、表面形貌以及顆粒形態(tài)等,可用于制備材料的表征、材料缺陷分析等。
 
  2.對(duì)生物樣品進(jìn)行高清晰度成像,觀察生物細(xì)胞、細(xì)胞器、組織結(jié)構(gòu)等微觀結(jié)構(gòu),用于生物學(xué)研究、醫(yī)學(xué)研究等領(lǐng)域。
 
  3.具有高分辨率和高增倍倍率的特點(diǎn),可觀察納米顆粒、納米結(jié)構(gòu)等微觀顆粒的外觀和形貌,有助于納米材料研究等領(lǐng)域。
 
  4.可以用于觀察和分析環(huán)境污染物、顆粒物等相關(guān)樣品的形貌和組成,可以幫助了解污染源、污染程度以及環(huán)境影響等方面的問(wèn)題。
 
  5.體積小、使用方便,它可以被廣泛應(yīng)用于學(xué)校教學(xué)和科普活動(dòng)中,幫助學(xué)生和大眾更直觀地了解微觀世界。
臺(tái)式掃描電鏡

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